Mikromechanik: Einf?hrung in Technologie Und Anwendungen

Die Mikromechanik, die sich mit Entwurf, Herstellung und Anwendung von dreidimen- sionalen mechanischen Strukturen und Systemen mit Abmessungen im Mikrometerbe- reich befa t, hat in den vergangenen Jahren zunehmend an Bedeutung gewonnen und steht an der Schwelle zur breiten industriellen Anwendung. Ihr Einsatz f?hrt zu Quali- t?ts-und Leistungssteigerungen in vielen Bereichen der modernen Technik. An Stelle der konventionellen Fertigungsverfahren der Feinwerktechnik nutzt die Mikro- mechanik den Technologievorrat der Mikroelektronik, vor allem das Konzept der hoch- gen auen Struktur?bertragung mittels lithographischer Verfahren und das Konzept der kosteng?nstigen Fertigung in Batch-Prozessen. Die Mikromechanik kann daher als konsequente Weiterentwicklung der Mikroelektronik auf nicht-elektronische Gebiete be- trachtet werden. Die gemeinsame technologische Basis von Mikromechanik und Mikro- elektronik bietet g?nstige Voraussetzungen f?r die Integration mechanischer, optischer und elektronischer Funktionen zu komplexen Mikrosystemen. Die zur Zeit rasch anstei- gende Zahl von Publikationen zu diesem Thema zeigt die gro e Bedeutung, die dieser Entwicklung von Wissenschaft und Industrie beigemessen wird. Mikromechanische Bauelemente k?nnen durchaus in mittelst?ndischen Betrieben ent- wickelt und gefertigt werden. Wichtig ist jedoch, da diese Betriebe Ingenieure als Mitarbeiter finden, die einen breiten ?berblick ?ber die M?glichkeiten der Mikromecha- nik besitzen. Das vorliegende Buch m?chte deshalb Studierenden, Anwendern in For- schung und Entwicklung sowie technisch interessierten Lesern eine Einf?hrung in die technologischen Grundlagen und die Anwendungen der Mikromechanik geben. Es ist aus einer Vorlesung entstanden, die ich seit 1986 an der Universit?t Stuttgart f?r Stu- denten der Fakult?t Konstruktions-und Fertigungstechnik halte.

Author: Stephanus B?ttgenbach

Publisher: Vieweg+teubner Verlag

Publication Date: Nov 01, 1990

Number of Pages: 240 pages

Binding: Paperback or Softback

ISBN-10: 3519030713

ISBN-13: 9783519030713