Springer
Proze?technologie: Fertigungsverfahren F?r Integrierte Mos-Schaltungen
Product Code:
9783540176701
ISBN13:
9783540176701
Condition:
New
$92.51
Proze?technologie: Fertigungsverfahren F?r Integrierte Mos-Schaltungen
$92.51
Proze technologie behandelt Fertigungsverfahren integrierter Schaltungen in CMOS-Technologie. Hierbei werden zun?chst die Einzelprozesse behandelt, die der Strukturerzeugung, Struktur?bertragung, Schichterzeugung und Schichtmodifikation zugerechnet werden. Im Anschlu daran wird gezeigt, wie Einzelprozesse zu einem Gesamtproze f?r die Herstellung von CMOS-Schaltungen integriert werden. Auf die Charakterisierung der Prozesse und die Entwicklung der Entwurfsregeln wird eingegangen. Das Buch basiert auf dem reichen Erfahrungsschatz fertigungsorientierter Technologen.
| Author: N. B?ndgens |
| Publisher: Springer |
| Publication Date: Mar 08, 1991 |
| Number of Pages: 500 pages |
| Binding: Paperback or Softback |
| ISBN-10: 3540176705 |
| ISBN-13: 9783540176701 |
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