IIm Mittelpunkt der Arbeit stand die Entwicklung piezoelektrisch angetriebener Mikrospiegel. Dabei handelt es sich um miniaturisierte, optische Bauteile zur Ablenkung von Laserstrahlen, mit denen sich z. B. Bildprojektionen realisieren lassen. Die Arbeit umfasst die Design- und Technologieentwicklung derartiger Mikrospiegel, sowie die Entwicklung von Sensoren zur Spiegelpositionserfassung. Zudem bildet die eingehende Charakterisierung einen weiteren Schwerpunkt dieser Arbeit. Insgesamt wurden 30 verschiedene 1D-Spiegel, elf verschiedene 2D-Spiegel sowie drei unterschiedliche Sensor-Typen entworfen, hergestellt und untersucht. F?r die resonanten 1D-Spiegel stellen die erreichbaren Scanwinkel und Resonanzfrequenzen die charakteristischen Gr? en dar. Die hier hervorgegangenen 1D-Spiegel erreichen sehr gro e Scanwinkel von 106 und hohe Resonanzfrequenzen von 69 kHz. Bei den 2D-Spiegeln sind die Kombinationen verschiedener Spiegelbewegungsmoden f?r die Realisierung unterschiedlicher Laserstrahl-Trajektorien von gro er Bedeutung. Dabei wurden zwei Designkonzepte f?r die 2D-Spiegel realisieret: Die sogenannten Quadpod-Designs und die kardanisch aufgeh?ngten Spiegel. Die Quadpod-Spiegel realisieren zwei senkrechte Torsionsmoden, die nahestehende Eigenfrequenzen aufweisen. Somit lassen sich kreisf?rmige und rechteckige Ausleuchtungen durch die resultierenden Lissajous-Figuren erzeugen. Zus?tzlich sind derartige Spiegel auch f?r Translationsbewegungen geeignet. An einem Spiegeltyp mit 7 mm Spiegeldurchmesser wurden translatorische Amplituden von bis zu 1600 m nachgewiesen, welche zu den h?chsten vertikalen Amplituden von Spiegeln geh?ren. Die kardanisch aufgeh?ngten 2D-Spiegel erlauben quasi-statisch und resonant angetriebene Torsionsbewegungen und somit die Realisierung eines kompletten, integrierten Rasterscanners. Die resonanten 1D- und 2D-Spiegel erfordern die Regelung zum Adressieren projizierter Punkte. Daf?r wurden unterschiedliche Messprinzipien untersucht. Die kapaz
| Author: Shanshan Gu-Stoppel |
| Publisher: Books on Demand |
| Publication Date: Feb 26, 2016 |
| Number of Pages: 200 pages |
| Binding: Paperback or Softback |
| ISBN-10: 3739239581 |
| ISBN-13: 9783739239583 |
