Elektrochemische Messungen an durch PVD-Verfahren erzeugten Oxidschichten: Untersuchungen zur Schichtherstellung und zur Meßmethodik

Inhaltsangabe: Problemstellung: An der Darstellung d?nner Schichten bestehend aus (dotiertem) Zinn(IV)-Oxid besteht bereits seit drei Jahrzehnten ein gro es Interesse, weil transparente, n-halbleitende Oberfl?chen hergestellt werden k?nnen (TCO - transparent conductive oxides). Reines, st?chiometrisches Zinndioxid (SnO2) ist ein Isolator. Ziel der Herstellungsverfahren ist es also, einerseits Schichten mit geringem Sauerstoff-Unterschu zu erzeugen (SnO2-?), die dann Fehlstellen (z. B. Sauerstoffionenleerstellen) als Elektronendonatoren enthalten. Andererseits kann die gew?nschte Leitf?higkeit durch Dotierung mit Fremdatomen wie z. B. Sb oder F erreicht werden. W erden Schichten mit Sauerstoff-Defizit in Gegenwart von O2 (z. B. in Luft) ?ber etwa 600 K erhitzt, werden die o. g. Donatoren durch Oxidation (Einbau von Sauerstoff in die Schicht, z. B. auf Sauerstoffionenleerstellen) vernichtet. Dahingegen sind z. B. St?rstellen durch eingebautes Sb(V) bis ?ber 1 100 K stabil. Zur Herstellung d?nner TCO-Schichten stehen physikalische wie chemische Verfahren zur Verf?gung. In dieser Arbeit wird auf die Physical-Vapor-Deposition eingegangen werden. Die meisten Arbeiten, die sich mit dieser Thematik befassen, behandeln die Optimierung von Betriebsparametern bez?glich der optischen Transparenz und elektrischen Leitf?higkeit. TCOs wurden beispielsweise in der R?hrenindustrie angewandt, werden bei der D?nnschichtsolar-Technologie eingesetzt und zur Herstellung nicht vereisender Windschutzscheiben verwendet. Ein mit Zinndioxid beschichteter Glastr?ger kann in der analytischen Chemie f?r elektrochemischen Untersuchungsmethoden wie Potentiometrie, Amperometrie und Coulometrie, bei denen Redoxvorg?nge ablaufen, als Indikatorelektrode dienen. Eine solche Elektrode ist sensitiv f?r Mn04-, Ce4, Cr2O72-, S2O32-, Ti3, Tl und NO2-. Die Potentiale, die sich bei einer Zinndioxid-Glas-Elektrode in Redoxsystemen wie Fe2?, [Fe(CN)6]4-/[Fe(CN) 6]3-oder Chinhydron/Hydrochinon einst

Author: Stefan Krebs

Publisher: Diplom.de

Publication Date: Mar 31, 1999

Number of Pages: 180 pages

Binding: Paperback or Softback

ISBN-10: 3838613074

ISBN-13: 9783838613079