Aufbau eines Detektorteleskops für ERDA-Messungen und erste Anwendungen auf dünne Schichten

Inhaltsangabe: Problemstellung: In der vorliegenden Arbeit wird der Aufbau einer ERDA-Detektoranlage zur Bestimmung tiefenaufgel?ster Konzentrationsprofile d?nner Schichten beschrieben. Die Anlage wurde in zahlreichen Messungen mit Schwerionenstrahlen und Spaltfragmentquellen getestet. ERDA (Elastic Recoil Detection Analysis) ist eine kernphysikalische Untersuchungsmethode, die auf der elastischen Streuung schwerer Ionen mit den Atomen einer d?nnen Festk?rperprobe basiert. Die Information ?ber die Tiefenprofilverteilung im Target wird mit ERDA durch die Spektroskopie der aus der Probe ausgesto enen Ionen gewonnen. Eine Aufl?sung von atomaren Monolagen ist dabei prinzipiell m?glich. Gang der Untersuchung: Der erste Teil der Arbeit befasst sich mit der Motivation f?r das ausgew?hlte Thema. Im zweiten Teil der Arbeit werden die theoretischen Grundlagen der ERDA-Analyse formuliert. Im einzelnen wird auf die mit dieser Methode realisierbare Isotopentrennung und Bestimmung der Tiefenkonzentrationsprofile eingegangen. Der dritte Teil der Arbeit befasst sich mit dem Aufbau und der Funktionsweise eines DE-E-Detektorteleskops. Neben der Energiemessung erm?glicht ein Teleskop eine kernladungsspezifische Elementtrennung. Der f?nfte Teil der Arbeit zeigt den Aufbau einer ERDA-Messapparatur am Tandembeschleuniger in K?ln. Anschlie end werden erste Experimente pr?sentiert. ERDA stellt eine zuverl?ssige und auch f?r industrielle Anwendungen sehr interessante Methode dar. Von Korrosionsforschung bis zur Chipherstellung finden sich Einsatzgebiete von ERDA. Der Zugang zu einem Ionenbeschleuniger kann durch eine Kooperation mit ausgew?hlten Universit?ten, die ?ber Beschleunigerlabors verf?gen, gew?hrleistet werden. Inhaltsverzeichnis: Inhaltsverzeichnis: 1.Einleitung5 2.Theoretische Formulierung der Spektrometrie elastisch gestreuter Targetionen9 2.1Teilchendiskriminierung mit der ERDA-Technik9 2.2Tiefenaufgel?ste Konzentrationsbestimmungen14 3.Allgemeine Grundlagen f?r

Author: Adrian Gohla

Publisher: Diplom.de

Publication Date: Sep 04, 2000

Number of Pages: 88 pages

Binding: Paperback or Softback

ISBN-10: 3838626370

ISBN-13: 9783838626376