Etude Du Contr?e Avanc?Des Proc?? En Industrie Du Semi-Conducteur

Cette th?se porte sur le d?veloppement d'outils de contr?le avanc? des proc?d?s et leurs applications ? l'industrie de fabrication des composants micro?lectroniques. L'accent est mis en particulier sur les boucles de r?gulation, connues sous le nom de boucles run-to-run. Dans la premi?re partie de ces travaux, l'objectif ?tait d'identifier, ? travers une analyse statistique multi-vari?e, les ?tapes de fabrication critiques, principalement responsables des variabilit?s temporelle et spatiale des performances ?lectriques du dispositif. Les r?sultats obtenus montrent une forte variabilit? lot ? lot du courant de saturation et du courant de fuite, due, au premier ordre ? la variabilit? de la longueur de grille en poly-silicium. Ce constat a ?t? le point de d?part pour le d?veloppement d'une nouvelle strat?gie de r?gulation run-to-run mieux adapt?e ? un environnement de production high-mix, ? savoir le contr?le coop?ratif. Un contr?leur coop?ratif s'appuie sur un algorithme d'identification r?cursif afin d'estimer en ligne les ?tats des sources de variations qualitatives prises en compte, notamment le produit et l'?quipement de fabrication.

Author: Jedidi-N

Publisher: Omniscriptum

Publication Date: Feb 28, 2018

Number of Pages: 184 pages

Binding: Paperback or Softback

ISBN-10: 3841785271

ISBN-13: 9783841785275