Etudes Et R?lisation de Jonctions P/N En Diamant

Afin de r?aliser des jonctions p/n en diamant, des ?tudes ont ?t? men?es sur le substrat et sur les couches de diamant CVD dop?es n et p. Les d?fauts de surface et internes au substrat de diamant ont ?t? analys?s par AFM ou par DRX. Les d?fauts dus au polissage de la surface du substrat ont ?t? identifi?s comme pouvant d?t?riorer la qualit? cristalline des couches CVD. L'efficacit? d'un pr?traitement par gravure RIE a ?t? prouv?e par la diminution de l'?mission de bande A reli?e aux dislocations et par l'augmentation de la mobilit? de Hall. Les donn?es exp?rimentales ont ?t? compar?es ? un mod?le de mobilit? bas? sur l'approximation du temps de relaxation permettant de mettre en ?vidence la d?pendance en temp?rature des diff?rents modes de diffusion par les impuret?s et les phonons ainsi que la d?termination du potentiel de d?formation acoustique du diamant de 17.7 eV. La valeur maximum de mobilit? ? l'?quilibre thermodynamique a ainsi pu ?tre d?termin?e. Un nouveau mode de diffusion a ?t? mis en ?vidence pour les ?chantillons non trait?s. Les propri?t?s de couches de diamant couvrant une large gamme de dopage ont ?t? examin?es en fonction de l'incorporation d'atomes dopants.

Author: Russo Epouse Chevalier-C

Publisher: Omniscriptum

Publication Date: Feb 28, 2018

Number of Pages: 228 pages

Binding: Paperback or Softback

ISBN-10: 6131512485

ISBN-13: 9786131512483