Etude d''une Decharge Hipims

Les besoins de l'industrie, contraint cette derni?re ? mettre en jeu des mat?riaux complexes qui n?cessitent des outils adapt?s pour les mettre en forme. Pour r?pondre ? cette probl?matique, plusieurs orientations peuvent ?tre envisag?es. Une possibilit? est de rev?tir les outils de films minces afin de figer le plus longtemps possible la g?om?trie tout lui apportant de nouvelles propri?t?s. Cependant, afin de garantir une grande efficacit? du d?p?t pendant les op?rations de coupe, il est primordial que le rev?tement poss?de un excellent degr? d'adh?rence avec le substrat. Ce travail s'est donc orient? vers l'?tude d'un nouveau proc?d? de d?p?t sous vide en phase vapeur qu'est l'HIPIMS (HIgh Power Impulse Magnetron Sputtering ) afin de le comprendre et de le ma?triser pour synth?tiser des films denses de TiN, AlN et (Al, Ti)N mais surtout d'am?liorer leur adh?rence.

Author: Guillaumot-A

Publisher: Omniscriptum

Publication Date: Feb 28, 2018

Number of Pages: 204 pages

Binding: Paperback or Softback

ISBN-10: 6131544182

ISBN-13: 9786131544187