?ude d''un Micro-Gyrom?re Deux Axes ?Poutre Vibrante En Silicium

Les travaux pr?sent?s ont pour but l'optimisation et la r?alisation d'un gyrom?tre micro-usin? ? poutre vibrante sur substrat silicium. Ces travaux s'inscrivent dans la continuit? de th?ses pr?c?demment effectu?es ? FEMTO-ST et consacr?es au d?veloppement de structures en ?toile. Cette configuration est appropri?e ? la r?alisation de mesures de vitesse angulaire dans le plan du substrat. Le projet de recherche propose une ?volution du gyrom?tre silicium avec passage d'une d?tection capacitive ? une d?tection optique. C'est pourquoi le m?moire propose naturellement un redimensionnement en profondeur du capteur. Ainsi, un nombre important d'?tudes par ?l?ments finis ont ?t? r?alis?es pour optimiser la structure vibrante. Des ?tudes ?lectrom?caniques ont permis de comprendre en d?tail les sp?cificit?s r?sultant du choix de l'excitation capacitive. Ces travaux ont conduit ? l'?laboration d'une structure optimis?e, et ? ? une red?finition des proc?d?s de fabrication. Plusieurs capteurs ont ?t? r?alis?es, validant le design et son process. Le recours ? une sonde h?t?rodyne a ensuite permis de mesurer les d?placements hors-plan en fonction du signal d'excitation.

Author: Maisonnet-J

Publisher: Omniscriptum

Publication Date: Feb 28, 2018

Number of Pages: 192 pages

Binding: Paperback or Softback

ISBN-10: 613155076X

ISBN-13: 9786131550768