Microphone ?ectrodynamique Mems En Technologie CMOS

Les microsyst?mes (MEMS - Micro-Electro-Mechanical Systems) sont des composants miniaturis?s r?unissant des fonctions ?lectroniques, m?caniques et optiques sur la m?me puce. Les technologies microsyst?mes conjuguent les techniques du pointe de la micro?lectronique des semi-conducteurs et les nouvelles techniques du micro-usinage, permettant ainsi la r?alisation de syst?mes entiers sur une puce (SoC - System on Chip). En plus, cette int?gration permettra de miniaturiser le syst?me, d'am?liorer ses performances, d'augmenter la sensibilit? et de diminuer le bruit gr?ce ? la r?duction de la taille des composants et par la suite les capacit?s parasites dues aux interconnexions. Dans ce cadre vient l'objectif de cette th?se qui a pour but de concevoir et r?aliser une nouvelle g?n?ration de microphone monolithique de type ?lectrodynamique, ? base de bobines spirales planaires, r?alis?e en technologie standard compl?t?e par un post process de micro-usinage en volume par la face avant.

Author: Tounsi-F

Publisher: Omniscriptum

Publication Date: Feb 28, 2018

Number of Pages: 172 pages

Binding: Paperback or Softback

ISBN-10: 6131584931

ISBN-13: 9786131584930