Techniques de lithographie

? notre ?poque, les appareils ?lectroniques tels que les t?l?phones mobiles, les ordinateurs, les ordinateurs portables, les capteurs et bien d'autres appareils sont devenus une n?cessit? pour les hommes en mati?re de soins de sant?, de mode de vie agr?able et d'ex?cution rapide et facile des t?ches. Diff?rents types de capteurs de temp?rature, de biocapteurs, de photocapteurs, etc. ont ?t? mis au point pour r?pondre aux besoins de la population. Tous ces dispositifs contiennent des puces fabriqu?es ? l'aide de diodes, de transistors, de portes logiques et de circuits int?gr?s. Le modelage du substrat utilis? pour le d?veloppement ult?rieur de ces dispositifs est effectu? ? l'aide d'une technique connue sous le nom de lithographie. Dans le pr?sent travail, nous avons pass? en revue les diff?rents types de techniques lithographiques telles que la lithographie optique, la lithographie dans l'ultraviolet extr?me, la lithographie par faisceau d'?lectrons, la lithographie par rayons X et la lithographie par faisceau d'ions. Les ?volutions de ces techniques au fil du temps et leurs applications dans la fabrication de dispositifs sont examin?es. Les diff?rents outils d'exposition d?velopp?s au cours de la derni?re d?cennie pour am?liorer la r?solution des dispositifs sont ?galement abord?s. Les r?sines amplifi?es chimiquement et non amplifi?es chimiquement, leur liaison et leur ?paisseur sont abord?es.

Author: Jasvir Dalal

Publisher: Editions Notre Savoir

Publication Date: Apr 04, 2024

Number of Pages: 72 pages

Binding: Paperback or Softback

ISBN-10: 6207348524

ISBN-13: 9786207348527