Entwicklung eines maskenlosen Fotolithographiesystems zum Einsatz im Rapid Prototyping in der Mikrofluidik und zur gezielten Oberfl?chenfunktionalisie

In dieser Arbeit wurde eine auf einem Mikrospiegelarray basierende, maskenlose Lithographieanlage entwickelt und aufgebaut, mit welcher Einzelbilder nahtlos nebeneinander projiziert werden. Es wurden ?ber Abformprozesse und direktlithographisch aus verschiedenen Polymeren cm gro e Mikrofluidikchips mit 50 m Kan?len in wenigen Stunden hergestellt. Zudem wurden biochemische Ligandenmuster in 256 verschiedenen Dichtegraden in wenigen Sekunden auf 5 mm Fl?che mit wenige m gro en Pixeln erzeugt.

Author: Ansgar Waldbaur

Publisher: Karlsruher Institut Fur Technologie

Publication Date: Sep 03, 2014

Number of Pages: 164 pages

Binding: Paperback or Softback

ISBN-10: 3731501198

ISBN-13: 9783731501190