Entwicklung eines Verfahrens zur konfokalen Mikrotopographievermessung mit Strukturprojektion

Inhaltsangabe: Problemstellung: Es wurde ein Algorithmus entwickelt, der die Auswertung von mikroskopischen Fokusserien, bez?glich der Oberfl?chenform des Objektes, mit einem Regressionsverfahren bei minimalem Speicherbedarf und sehr hoher Aufl?sung erm?glicht. Verschiedene strukturierte Raster wurden auf ihre Tauglichkeit zur mikroskopischen Projektion zwecks Kontrasterh?hung untersucht. Mehrere Kontrastoperatoren wurden bez?glich ihrer Eignung f?r dieses Verfahren gepr?ft und schlie lich ein kombinierter Operator entworfen, der sich im praktischen Einsatz bew?hrt hat. Weiterhin wurde eine Methode entwickelt, um die axiale Aufl?sung zu bestimmen. Anhand dieses Parameters wurde das System optimiert. Schlie lich wurden die Ursachen verschiedener systematischer Me fehler analysiert und M?glichkeiten zu ihrer Beseitigung entwickelt bzw. aufgezeigt. Inhaltsverzeichnis: Inhaltsverzeichnis: 1.Einleitung1 1.1Motivation1 1.2Geschichte1 1.3Stand der Technik2 1.3.1Laserprofilometer2 1.3.2Streifenprojektion3 1.3.3Stereoskopie3 1.3.4Laser-Scanning-Mikroskop3 1.3.5Rastersondenmikroskop3 1.3.6Konfokale Verfahren4 2.Systembeschreibung5 2.1Aufbau5 2.2Me methode5 2.3Strukturbeleuchtung7 2.3.1Streuscheibe9 2.3.2Diafilm-Raster9 2.3.3Chrommasken9 2.3.4Auswahl des besten Rasters10 2.4Algorithmus10 2.4.1Scharfbild-, Kontrast-, und Momentenberechnung12 2.4.2Regression13 2.4.3Speicherbedarf13 2.4.4Laufzeit14 3.Kontrastoperatoren15 3.1Lokale Kontrastoperatoren15 3.1.1Laplace-Operator15 3.1.2AND Operator17 3.1.3Sobel Operator19 3.1.4Convsobel Operator19 3.2Globale Kontrastoperatoren22 3.2.1Aufteilung der Raumfrequenzen22 3.2.2Berechnung der Grenzfrequenzen23 3.2.3Fourier-Filterung24 3.3Vergleich der Operatoren25 3.3.1Axiales Aufl?sungsverm?gen25 3.3.2Rechenzeit26 3.3.3Signal-Mittelwert-Verh?ltnis27 3.3.4Bewertung28 4.Geometrische Absch?tzung des Aufl?sungsverm?gens29 4.1Das Abbildungsmodell29 4.2Verschiebung der Fokusebene30 4.2.1Mikroskop31 4.2.

Author: Georg Wiora

Publisher: Diplom.de

Publication Date: Dec 15, 1999

Number of Pages: 98 pages

Binding: Paperback or Softback

ISBN-10: 3838619781

ISBN-13: 9783838619781