Entwicklung von Kunststoff-Mikroventilen im Batch-Verfahren

Ziel der vorliegenden Arbeit ist es, die Integration von Materialien in Mikrosysteme zu erm?glichen, welche sich nicht f?r monolitische Herstellungs- und Integrationsverfahren eignen. Eine aufw?ndige und somit meist kostspielige Pick-and-Place Montage wird dabei hinsichtlich der wirtschaftlichen Eignung auch f?r gr? erer St?ckzahlen durch ?bertragungstechniken auf der Waferebene vermieden. Als Demonstratorsystem dient ein Kunststoff-Mikroventil mit einem Aktor aus einer Formged?chtnislegierung.

Author: Thomas Grund

Publisher: Karlsruher Institut Fur Technologie

Publication Date: Oct 16, 2014

Number of Pages: 146 pages

Binding: Paperback or Softback

ISBN-10: 3866444966

ISBN-13: 9783866444966