Etude Du Probl?e Inverse En Scatterom?rie

La scatterom?trie est une m?thode de mesure non destructive bas?e sur la mesure et l'interpr?tation des ph?nom?nes de diffraction des structures p?riodiques. Le traitement des donn?es et l'extraction des param?tres g?om?triques des structures ?tudi?es constituent le probl?me inverse ? r?soudre. L'utilisation d'algorithmes de minimisation locale permet d'effectuer l'ajustement des donn?es exp?rimentales sous certaines hypoth?ses statistiques. L'ensemble des ?tudes th?oriques et exp?rimentales a mis en ?vidence que la scatterom?trie permet de mesurer les profiles de r?seaux mono- et bi-p?riodiques compatibles avec les sp?cifications des futures circuits int?gr?s. N?anmoins, seuls certains param?tres g?om?triques de la structure diffractantes sont susceptibles d'?tre mesur?s dans des conditions exp?rimentales standard. Cette m?thode de mesure appara?t aussi ?tre robuste vis-?-vis des d?fauts et des inhomog?n?it?s du r?seau et est bien corr?l?? avec les m?thodes de mesure couramment utilis?es dans en micro?lectronique (MEB, AFM). On peut noter que la pr?cision des indices optiques des mat?riaux constitue l'une des cl?s de la fiabilit? de la mesure.

Author: Quintanilha-R

Publisher: Omniscriptum

Publication Date: Feb 28, 2018

Number of Pages: 272 pages

Binding: Paperback or Softback

ISBN-10: 6131527296

ISBN-13: 9786131527296