Proc?? plasmas pour le management thermique micro?ectronique

Ces travaux sont ax?s sur la mise au point d'un proc?d? de synth?se de couches minces ? basse temp?rature d'un mat?riaux di?lectrique ? forte conductivit? thermique pour la passivation de semi conducteur. Cette ouvrage s'articule d'une part sur la pr?sentation de l'?tat des connaissance dans les domaines des mat?riaux di?lectriques cristallins ainsi que des proc?d?s plasma et d'autre part sur la pr?sentation des m?thodes permettant une compr?hension fine des propri?t?s intrins?que des mat?riaux quel soit structural ou thermique. La seconde partie de cette ouvrage est constitu? des ?tudes men?es lors de mon doctorat au laboratoire Jean Rouxel de l'universit? de Nantes qui s'appuie principalement ? li?es les domaines des proc?d?s et des mat?riaux afin d'en optimiser les propri?t?s.

Author: Duquenne-C

Publisher: Omniscriptum

Publication Date: Feb 28, 2018

Number of Pages: 212 pages

Binding: Paperback or Softback

ISBN-10: 6131528896

ISBN-13: 9786131528897